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桌面级蒸发

发布时间:2018/11/15
桌面级蒸发

SL200S-ZF4蒸发镀膜仪是一款高千亿游戏的网站的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al 、Au等),也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟,且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

主要特点

1、千亿游戏的网站控制单元全部集合在一个控制盒内。

2、采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。

3、千亿游戏的网站腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,方便快速取放样品,提高效率)、1个CF150闸板阀(直接与

   分子泵相连)、1个KF16法兰(安装电阻规)、5个CF35法兰(1个安装电离规,4个备用,便于安装其他设备)。

4、在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。

5、4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板,有效地避免蒸发时相互污染。

6、样品台安装在腔体的顶部。

7、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,精度为10埃。

8、可使用循环水冷机。

技术参数

1、输入:单相AC220V,50/60Hz,最大功率≤3.2KW。

2、蒸发输出:电压AC 0-8V连续可调,最大蒸发电流200A。

3、千亿游戏的网站腔:Φ300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理。

4、腔门:Φ200mm。

5、观察窗:Φ95mm,采用无氧铜密封圈密封。

产品规格

尺寸:650mm×1200mm×1600mm

重量:600kg


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